点击图片查看原图
|
NM-XY-100X微米定位台是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。
|
||
|
NM-XY-100X微米定位台概述
|
||
|
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到*小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有良好的力学平衡设计。 |
||
|
NM-XY-100X微米定位台应用领域
|
||
|
◆
|
*显微镜；
|
|
|
推荐NM-XY-100X微米定位台控制器
|
||
|
NM3220
|
||
|
NM-XY-100X微米定位台主要特点
|
||
|
◆
|
>100微米运动范围，高于纳米级分辨率；
|
|
|
◆
|
振荡频率>350HZ；
|
|
|
◆
|
0.005%磁滞、线性度；
|
|
|
◆
|
高带宽(>50Hz)响应时间短；
|
|
|
◆
|
现场扫描*优化；
|
|
|
◆
|
需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；
|
|
|
◆
|
NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；
|
|
