点击图片查看原图
|
NM-X-15A微米定位台尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量，高刚度，可以用于极端高的带宽环境。
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在16微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，NM-X-15A微米定位台可以实现高于纳米级的响应。 |
||
|
NM-X-15A微米定位台应用领域
|
||
|
◆
|
磁头和硬盘测试；
|
|
|
◆
|
干涉测量；
|
|
|
NM-X-15A微米定位台推荐控制器
|
||
|
NM3110
|
||
|
NM-X-15A微米定位台主要特点
|
||
|
◆
|
>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；
|
|
|
◆
|
振荡频率>8K；
|
|
|
◆
|
小于微秒级响应时间(负载5g)；
|
|
|
◆
|
现场扫描和步骤反应*优化；
|
|
|
◆
|
高稳定性；
|
|
|
◆
|
即插即用，低停机时间；
|
|
