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NM-X-5A微米定位台尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量，高刚度，可以用于极端高的带宽环境。
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，NM-X-5A微米定位台可以实现高于纳米级的响应。 |
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NM-X-5A微米定位台应用领域
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磁头和硬盘测试；
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干涉测量；
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NM-X-5A微米定位台推荐控制器
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NM3110
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NM-X-5A微米定位台主要特点
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>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；
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振荡频率>8K；
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小于微秒级响应时间(负载5g)；
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现场扫描和步骤反应*优化；
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高稳定性；
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即插即用，低停机时间；
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