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NM-XY-100X精密定位台是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。
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NM-XY-100X精密定位台概述
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NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到*小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有良好的力学平衡设计。 |
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NM-XY-100X精密定位台应用领域
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*显微镜；
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推荐NM-XY-100X精密定位台控制器
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NM3220
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NM-XY-100X精密定位台主要特点
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>100微米运动范围，高于纳米级分辨率；
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振荡频率>350HZ；
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0.005%磁滞、线性度；
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高带宽(>50Hz)响应时间短；
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现场扫描*优化；
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需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统；
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NM-XY-100A为特殊钢材外壳；NM-XY-100B为铝质外壳；
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