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NM-Z-15A Z轴定位台是一个压电扫描柔性引导平台，该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。
NM-Z-15A Z轴定位台特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差，用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。 |
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NM-Z-15A Z轴定位台应用领域
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扫描探针显微镜；
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干涉测量；
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精密工程；
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计量；
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NM-Z-15A Z轴定位台推荐控制器
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NM3110
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NM-Z-15A Z轴定位台主要特点
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>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；
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振荡频率>3K；
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0.005%磁滞、线性度；
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现场扫描*优化；
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高稳定性；
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特殊钢材外壳；
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