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NM-Z-15B Z轴定位台是一个集成了电容传感器的纳米平台。特点是高于纳米级的分辨率和重复性。
NM-Z-15B Z轴定位台是用来测量极端微小的角度偏差以及扫描对位移精度要求非常高的探针显微镜和干涉法。 |
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NM-Z-15B Z轴定位台应用领域
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扫描探针显微镜；
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干涉测量；
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精密工程；
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计量；
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NM-Z-15B Z轴定位台推荐控制器
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NM3110
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NM-Z-15B Z轴定位台主要特点
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>15微米运动范围，高于纳米级分辨率；
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振荡频率>1.8K；
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0.005%磁滞、线性度；
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高带宽(>300Hz)响应时间短；
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现场扫描*优化；
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高稳定性；
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特殊钢材外壳；
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