|
NM-Z-15L Z轴定位台是一个集成了电容传感器的纳米平台。高于纳米级的分辨率和重复性,特点是高硬度,能承载5KG。可以选择在末端电机的位置加装碳化钨球。
|
||
|
NM-Z-15L Z轴定位台应用领域
|
||
|
◆
|
NM-Z-15LZ轴定位台适用于精确测质量较大的物体例如:透镜、面具、车床的卡盘、机床等;
|
|
|
NM-Z-15L Z轴定位台推荐控制器
|
||
|
NM3110
|
||
|
NM-Z-15L Z轴定位台主要特点
|
||
|
◆
|
>15微米运动范围,高于纳米级分辨率;
|
|
|
◆
|
振荡频率>8KHZ;
|
|
|
◆
|
0.005%磁滞、线性度;
|
|
|
◆
|
高带宽(>1KHz)响应时间短;
|
|
|
◆
|
现场扫描*优化;
|
|
|
◆
|
高稳定性;
|
|
|
◆
|
特殊钢材外壳;
|
|


