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电容传感器的纳米平台

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最后更新: 2012-07-14 11:03
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明

NM-Z-15L Z轴定位台是一个集成了电容传感器的纳米平台。高于纳米级的分辨率和重复性,特点是高硬度,能承载5KG。可以选择在末端电机的位置加装碳化钨球。
NM-Z-15L Z轴定位台应用领域
NM-Z-15LZ轴定位台适用于精确测质量较大的物体例如:透镜、面具、车床的卡盘、机床等;
NM-Z-15L Z轴定位台推荐控制器
NM3110
NM-Z-15L Z轴定位台主要特点
>15微米运动范围,高于纳米级分辨率;
振荡频率>8KHZ;
0.005%磁滞、线性度;
高带宽(>1KHz)响应时间短;
现场扫描*优化;
高稳定性;
特殊钢材外壳;
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