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宁波金晟杰机电有限公司供应美国Aalborg Aalborg气体质量流量计 Aalborg控制器
是世界上*的气体质量流量计/控制器的生产厂家其产品广泛用于微电子工艺 真空镀膜 材料科学 石油化工 医药 环保等领域。
产品特点：* 响应速度快 可靠性高 易于集成 环路保护 备总量计数器
典型应用：CVD PVD 刻蚀 等离子注入 溅射 ITO 玻璃镀膜 表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－大压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机
精度：±1.5％满量程 包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度）在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5Vdc *小1000Ω。4-20mA 0-250Ω回路电阻
传感器输出：＋12Vdc；大200Ω。＋24Vdc可选
时间恒量：800ms
气体压力：大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝 316不锈钢 铜和氟橡胶圆环
B：GFC17S 37S 47S 57S 67S 77S不锈钢系列：316不锈钢 氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR®或1／8"卡套可选（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺纹
GFC57：3／8"卡套螺纹
GFC67：1／2"卡套螺纹
GFC77：3／4"卡套螺纹
VCR®或3／4"卡套可选（GFC77）美国Aalborg Aalborg气体质量流量计 Aalborg控制器该产品种类齐全品质优良 如您有意购买 欢迎来电咨询！
