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三坐标测量仪的导轨是保证机器平稳，*运动的关键，目前主要采用
气浮导轨及直线滚珠导轨两种形式。
1． 气浮导轨
气浮导轨的核心是气浮轴承（空气轴承），利用气浮轴承小孔节流形
成气腔内的高压，在导轨和气浮轴承间形成具有一定承载能力和刚性的薄
膜。气浮导轨具有无摩擦及无磨损的特性，由于匀差效应，运动的局部直
线度及角度摆动较小。精度较高的三次元定制一般采用气浮导轨。
气浮轴承的性能有4个要求：即承载能力，承载刚性（气浮间隙每变
化一微米承载能力的变化）、耗气量、抗气振能力。其他的要求还包括防
锈性能、安装的工艺性，支承等的载荷设计亦不能忽略。对超*测量
机，气浮间隙及气腔压力的稳定至关重要，超*测量机往往设置气浮
轴承压力检查引出孔。
2． 直线滚珠导轨
采用直线滚珠导轨的优点是省去全套压缩空气设备及气动控制组件
，成本较低，适于无气源的环境。它刚性较好，承载能力强，比简单的滚
珠轴承，受个别滚珠疵瑕的影响要小，有一定的匀差效应。但由于钢球及
导轨原因，该结构的测量仪器精度稍低，摩擦力较大，因而控制性能亦与
气浮导轨特性不同。它的安装、调整找正对整机的性能的影响亦较大。
导轨面不能划伤，如果划伤需*人员来返厂维修，划伤后如果继
续使用会导致气浮轴承与导轨面产生直接摩擦，损坏机器。更详细请访问
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