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三坐标测量仪建立零件坐标系是非常灵活的，在测量过程中可能根据具体情况和测量的需要多次建立和反复调用零件坐标系，而只有在评价零件的被测元素时要准确的识别和采用各种要求的基准进行计算和评价。对于不清楚或不确定的计算基准问题，一定要取得工程师的认可和批准，方可给出检测结论。
而影像测量仪到底使用哪种建立零件坐标系的方法就要根据零件的实际情况。原本是用3点测平面取其法矢建立*轴，用2点测线投影到平面建立第二轴，这样两个轴*垂直，而第三轴自动建立，三轴垂直保证符合直角坐标系的定义，用一点或点元素建立坐标系零点。现在已经发展为多种方式来建立坐标系，如：可以用轴线或线元素建立*轴和其垂直的平面，用其它方式和方法建立第二轴等。
当然也不一定非要这种固定步骤来建立坐标系，可以单步进行，也可以省略其中的步骤。比如：回转体的零件就可以不用进行第二步，用圆柱轴线确定*轴并定义圆心为零点就可以了。用点元素来设置坐标系零点，即平移坐标系，也就是建立新坐标系。
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