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三坐标测量仪在打开前要确保测量工件温度已经达到测量实验室室内要求，还有要对工件测量进行侧头校验，在测头校验的过程中，要很据工件形状，尺寸选择合适的测头，测针，在测量仪器软件中会有匹配，选好后，还应该进行校准，以达到测量所要求的精度。
建立工件的坐标系，如果有工件的模型的话，也要建模型坐标系，然后把工件坐标系与模型坐标系拟合。建坐标系三个要素是：确定一个基准平面，确定一个平面轴线，再要确定一个点作为坐标原点。
三次元坐标系建好后就可以进行正常的测量，对工件进行分析，对工具的基本元素进行测量、点线面圆等。然后根据工件的形状用基元素进行形状的公差分析。
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