电容传感器 单极电容传感器

从能量转换的角度而言，电容传感器为无源变换器，需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。力学量中的线位移、角位移、间隔、距离、厚度、拉伸、压缩、膨胀、变形等无不与长度有着密切联系的量；这些量又都是通过长度或者长度比值进行测量的量，而其测量方法的相互关系也很密切。另外，在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围极小，如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率，其他传感器很难做到实现高分辨率要求，在精密测量中所普遍使用的差动变压器传感器的分辨率仅达到1～5 μm数量级；而有一种电容测微仪，他的分辨率为0.1nm，比前者提高了四个数量级，大量程为1250 μm，而且为零磁滞，因此他在精密小位移测量中受到青睐。

双极电容传感器：该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
 

ZCS1100单极电容传感器：ZCS1100是一个单一的通道，*线性位移测量系统，*的电容传感器测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

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