器 电容位移传感器 位移传

电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个电容传感器可用在两个不用的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

电容传感器应用领域：

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

电容传感器主要特点：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滞；

线性*高0.02%；

频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

真空兼容选项；

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