光束整形 DOE【新特光电】

均一的输出光斑使得除过曝或曝光不足的特定区域之外，可对工作面进行相同的处理。此外，输出光斑的特征在于有一个尖锐的过渡区，该过渡区域在已处理捍处理区域之间创建了清晰的边界。