技术参数
射频发生器（RF）
(1) 电路类型：自激振荡电路，全自动点火，精密高压开关电源供电系统，所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；；
(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05%
(3) 频率稳定性：<0.1%
(4) 输出功率：700－1600w
(5) 输出功率稳定性：≤0.3%
(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2V/m
进样装置:
(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝
(2) 炬管：外径20mm的石英炬管
(3) 同轴型喷雾器外径6mm
(4) 双筒形雾室外径35mm
(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格：
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①、 等离子体流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)
②、 辅助气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
③、 载气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
④、 载气稳压阀（0-0.4MPa）
仪器内设氩气二次稳压阀（0.3MPa）
测光装置:
(1) 光电倍增管规格： R212UH
(2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05%
(3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A
(4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，专业光谱仪厂家直销，
刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm
(4) 波长范围：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围：190-500nm
(7) 步进电机驱动最小步距：0.0006nm
(8) 入射狭缝：20µm 出射狭缝：25µm
(9) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透镜ф30，1：1成像
整机技术指标：
(1) 测量波长范围：
180-500nm 3600L/mm光栅
180-800nm 2400 L/mm光栅
(2) 测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%
(3) 测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2
(4) 检出下限：亚PPb
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