等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛，如硅晶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域，日本雅马拓YAMATO等离子清洗设备都发挥了积极作业。除了半导体相关的清洗用途外，日本雅马拓YAMATO等离子清洗设备在其他各种领域也都有广泛应用，如与生物、医学相关的微芯片强度和流道亲水性的提高，眼镜镜片涂装前的处理，石棉分析前的处理，高分子材料粘合强度的提高，液晶屏粘合强度的提高等。
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