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半导体行业用膜分离制氮机系统工作原理
膜分离制氮设备是利用一种高分子聚合纤维材料作为分离元件，当带压空气通过膜纤维毛细管时，空气中水蒸汽、二氧化碳、氦气、氧气等快速易渗透气体组分扩散到膜纤维毛细管外，不能透过的氮气则作为氮气产品输出。
半导体行业用膜分离制氮机系统的特点
与PSA制氮设备相比，工业制氮设备具有以下特点：
供气压力更稳定；
供气压力比PSA高；
设备扩容性强；
设备运行中动作部件较少；
原料空气净化要求高；
制取的氮气纯度通常小于99.5%；
和PSA制氮设备一样可配置精制系统制取99.9995%的高纯氮。
由于膜分离制氮机不需要启动切换阀和电磁阀，因而比变压吸附制氮机的可靠性更高。
膜分离制氮设备通常适合氮气纯度小于等于98%的应用场合。
半导体行业用膜分离制氮机系统由杭州富阳凯合空分设备有限公司自主研发、生产能力强。该套制氮机成套设备中除空气压缩机组进口外，其余配套的机组都有自主研发生产能力，我公司是国内较完善的空分装置成套系统生产商。
国内膜分离制氮机*企业杭州富阳凯合空分设备有限公司
