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1.取碳化硅原料，经破碎机破碎，并筛分至不大于5mm碳化硅颗粒，再用整形机对其进行整形至不大于2mm碳化硅颗粒，且其椭圆形颗粒占80%以上，再对其进行酸洗除杂，干燥;
2.将上述干燥后碳化硅颗粒用磨粉机粉碎成d50=9.5-11.5μm碳化硅粉，粉碎时，磨粉机主机电流设定为65-75A，风机流量设定为40-50m3/min，分析机转速为400--600转/分;
3.然后用涡流式气流分级机对碳化硅粉进行分级，分级时，涡流式气流分级机风机流量为煤矸石粉碎机25-43m3/min，分级轮转速为2600--3300转/分，从分级口分出粒度ds94=6.5-5.5μm成品A，旋风口分出ds94≤5.5μm半成品;
4.将涡流式气流分级机旋风口分出半成品用叶轮式气流分级机再进行二次分级，分级时，叶轮式气流分级机风机流量为25-10m3/min，分级轮转速为1300--1700转/分，从分级口分出粒度为ds94=4.5-3.0μm成品B，旋风口则分出副产品烘干机设备。潍坊凯华碳化硅微粉有限公司主要经营碳化硅微粉,超细碳化硅微粉。