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(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子,受激基团,游离基团) 活性基团 (3) 活性基团＋分子（原子→生成物热 ）
（4）+热 活性基团＋活性基团→生成物
电催化氧化工艺在低温等离子体、微波放电，放电电极和一个有效的处理达到排放标准，在实际使用中是一个非常复杂的过程。整个过程在一秒钟内完成。可以从理论模型探讨相关机制，通过集中排放的三种方式，气体分子从低能电子在1 / 1000秒的电离电磁过渡，在充满气体分子键断裂，冲击断裂后，由于小质量的粒子进一步转变，氧离子的氢氧根离子在反应器中反应，生成无害无味的CO2、H 2O和其他的化合物。同时因为臭氧反应和紫外辐射，*清除各类排气化合物。过程从以上可以看出，*电子能量从电场，能量转移到原子或分子，分子或原子能被激发，而一些分子电离，从而成为活性基团；这些活性基团和分子或原子相互碰撞的活动组和活动组之间后稳定的产品和热形成。此外，高能电子化学反应变得很快。作为一个高新技术具有巨大的潜在优势，在环境污染治理领域，已经引起了人们的关注，具有潜在的优势。因此，目前这种技术是成熟的。
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