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是否进口 ：否
加工定制 ：否
类型 ：电子薄膜应力分布测试仪
* ：国产
型号 ：HFGS-6341
测量范围 ：0
| 电子薄膜应力分布测试仪 型号：HFGS-6341 | |
| 产品简介 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多，能给出全场面型分布结果，适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。 仪器基于干涉计量的全场测试原理，可实时观测面型的分布，迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置，及时淘汰早期失效产品。 产品特点 计算机自动条纹处理 测试过程全自动 曲面补偿测试原理 技术指标 样品尺寸：≤100mm (4英寸) 曲率范围：|R|≥5米 测试精度：5% 单片测量时间：3分钟/片 结果类型：面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格 图形显示功能：三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示 电 源：AC 220V±10%, 50Hz±5% 大功耗：100W 外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm 重 量：36kg |
